等离子渗氮简介
离子渗氮法是由德国人B.Berghaus于1932年发明的。目前，我国在离子渗氮的某些理论和技术方面已处于世界领先水平。该法在0.1-10Torr的含氮气氛中，以炉体为阳极，被处理工件为阴极，在阴阳极间加上数百伏的直流电压，由于辉光放电现象便会产生象霓虹灯一样的柔光覆盖在被处理工件的表面。此时，已离子化了的气体成份被电场加速，撞击被处理工件表面使其加热。同时依靠溅射及离子化作用等进行渗氮处理。
与气体渗氮相比，离子渗氮具有许多优点，主要表现在 ：
1、离子渗氮是在真空中进行，因而可获得无氧化的加工表面，也不会损坏被处理工件的表面光洁度。而且由于是在低温下进行处理（380℃起即可进行渗氮处理），被处理工件的变形量极小，尺寸稳定性好，可以满足精密模具及高精
