半导体行业厂废气回收用什么设备好

附：含VOCs的废气穿过吸附剂床层，VOCs被吸附在吸附剂的微孔结构中，干净的气体则排入大气。

脱附：吸附剂吸附饱和后，失去吸附性能，需要对其脱附再生，主要利用热源将吸附质气化，然后被载体携带出。

吹扫：吸附质在加热气化过程中，吸附剂也相应的被加热，低温有利于吸附的进行，因此需要降低吸附剂的温度。

技术核心

1、技术优势

采用高效的吸附材料；

处理效率高，吸附效率可达99%以上；

达标排放，减少污染源排放；

可实现溶剂原料的循环利用；

吸附材料可根据溶剂不同个性化定制生产。