低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，是气体在外界能量作用下产生的包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。该技术是利用高压脉冲电晕放电或介质阻挡放电过程中，等离子体内部产生极高化学活性的基团，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2、H2O或小分子等物质，从而达到净化废气的目的。因等离子体中的电子平均能量在1eV～10eV，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。
主要反应过程如下：
电场 +电子→ 高能电子
高能电子 +污染物 → 活性基团（受激原子、受激基团、游离基团）
活性基团 + 氧气 → 生成物+热
活性基团 +活性基团→ 生成物+热
废气由收集气管收集，由风机送入FSD-DLZ低温等离子体废气处理设备，经过滤后进入低温等离子反应模组，高压脉冲放电产生的大量的高能电子、离子和自由基等活性粒子，将废气氧化分解，净化后的废气经排放管道达标排放。
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