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所有R5/RA系列真空泵具有下列之共同特性: |
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1. 设计精密.结构坚固.重量轻.易于安装及维护. |
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2. 空气冷却(气冷式). |
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3. 值结式驱动,可避免转动皮带及齿轮之松弛或损耗. |
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4. 含高效率油雾过滤器,不须将气体排出室外. |
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5. 进气口有逆止阀,当泵浦停止时,此逆止阀可隔离泵浦于系统,避免真空油逆流. |
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6. 低震动,不需用基础螺拴固定泵浦. |
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7. 运转声音小. |
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8. 具气体压载阀,可适用于蒸气之制程. |
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9. 即在真空度0.5mbar到40mbar之间进入泵浦入口之水蒸气,会从泵浦出气口完全排出,而不会在泵浦内发生凝结现象. |
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