激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的（位置和几何）精度校正，并可完成按标准测量各项参数，如线形位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它还具有若干为机床厂商和用户所欢迎的选择功能，如自动螺距误差补偿（适用大多数控系统），机床动态特性测量与评估，回转坐标分度精度标定，触发脉冲输入、输出功能等。
产品具有测量精度高、测量速度快、*高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。
功能特点：
测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。
具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并可以校准机床的回转轴。
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。
具有动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测量与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。
内置国内外通用的标准，如国标（GB）、ISO（国际）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和报告。
可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。
测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel文档。
安装方便：基本重量为15kg，简单便携。
技术参数：
系统性能
测量方式：单频
稳频精度：0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%
存储温度范围：-20℃~70℃
环境补偿示值误差
空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空气湿度传感器：±6% (0-95%)
大气压力传感器：±0.1kPa
线性测量
测量距离：0-40m
测量精度：0.5ppm (0-38℃)
测量分辨率：1nm
测量*大速度：4m/s
