电子尺位移传感器德国Novotechnik电子尺

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电子尺位移传感器Novotechnik LWH系列直线位移传感器描述

是一款接触式直线位移传感器,该系列传感器用于测量和控制系统中,对位移和长度进行直接和绝对测量。工作量程可达 900mm以及高分辨率(0.01mm)可提供精确的线性位移测量。传感器的结构设计上考虑方便安装及拆卸。传感器内外结构表面经过特殊处理,可在告诉低磨损状态下工作。传感器前端的柔性缓冲轴承可以克服传动杆的一些微小侧向应力,保证传感器正常工作。传感器导电材料固定和结构设计等工艺保证即使在最恶劣的条件下传感器也能可靠工作。传感器四面都有安装槽,这样就方便在安装时尽量将导电塑料面朝下安装,避免传感器内部有微小杂物颗粒存在从而影响传感器的寿命。

产品特点:

l  接触式直线位移传感器

l  不同应用条件下 使用寿命长达100 x 106次 

l  线性优异 高达±0.04% 

l  分辨率高于0.01mm 

l  防护等级IP55 

l  工作量程可达900mm

l  高运行速度,DIN 43650 标准插头和插座防护等级

德国Novotechnik T-100直线位移传感器是本公司的重点优势产品之一,拥有绝对优势价格,现货、原装、正品、可靠!保证满意价格质量!德国Novotechnik位移传感器广泛应用于塑胶、切割、车辆、医疗、建筑、农业、船舶、航天等领域的各种运动控制场合。

NOVOtechnik电子尺位移传感器主要系列有:

位移传感器常用主要型号:LWH-0075、LWH-0100、LWH-0130、LWH-0150、LWH-0175、LWH-0200、LWH-0225、LWH-0250、LWH-0300、LWH-0325、LWH-0360、LWH-0375、LWH-0400、LWH-0425、LWH-0450、LWH-0500、LWH-0550、LWH-0600、LWH-0650、LWH-0750

TLH-0100、TLH-0130、TLH-0150、TLH-0175、TLH-0200、TLH-0225、TLH-0275、TLH-0300、TLH-0325、TLH-0360、TLH-0400、TLH-0425、TLH-0450、TLH-0500、TLH-0525、TLH-0600、TLH-0650、TLH-0750、TLH-0800、TLH-0900、TLH-0950、TLH-1000、TLH-1100、TLH-1250、TLH-1350、TLH-1500、TLH-1600、TLH-1750、TLH-2000、TLH-2250、TLH-2500、TLH-2750、TLH-3000、TLH-3500、TLH-4000

LWH75、LWH100、LWH130、LWH150、LWH175、LWH200、LWH225、LWH250、LWH300、LWH325、LWH360、LWH375、LWH400、LWH425、LWH450、LWH500、LWH550、LWH600、LWH650、LWH750、LWH800、LWH850、LWH900、LWH200

TLH100、TLH130、TLH150、TLH175、TLH200、TLH225、TLH275、TLH300、TLH325、TLH360、TLH400、TLH425、TLH450、TLH500、TLH525、TLH600、TLH650、TLH750、TLH800、TLH875、TLH900、TLH950、TLH 1000、TLH1100、TLH1250、TLH1350、TLH1500、TLH1600、TLH1750、TLH2000、TLH2250、TLH2500、TLH2750、TLH3000、TLH3500、TLH4000、TLH4500

TR10、TR25、TR50、TR75、TR100、、TRS25、TRS50、TRS75、TRS100

T25、 T50 、T75、 T100、 T150 、TS25 、TS50 、TS75 、TS100 、TS150

TS25、TS50、TS75、TS100、TS150、TSS25、TSS50、TSS75、TSS100、TSS150

非接触式直线位移传感器系列如下:
TLM系列  TMI系列 TLM/TMI/TIM磁块、磁环辅件 FTI10系列 F200G系列
接触式直线位移传感器系列如下:
LWH系列  TLH系列  LWG系列  LWX系列   TEX系列  PTP系列 T/TS系列  TR/TRS系列
 

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原标题:

德国米铱公司精密位移传感器在光刻机制造领域的应用

光刻工艺流程

包括掩膜台系统、掩膜输送系统、投影物镜系统、硅片传输系统、调平调焦系统以及工件台系统在内的诸多机构均需要极高的定位精度、快速的测量频率和稳定的测量结果。德国米铱公司精密位移传感器因其出众的产品性能,一直被广泛应用于光刻机的生产制造环节。

德国米铱高精度电容位移传感器测量系统capaNCDT6500

•线性量程0.05-10mm

•绝对误差≤±0.05%

•分辨率0.000075%

•极限频率8.5kHz(-3dB)

•次纳米级别的超高稳定性和分辨率

•模块化-多达8通道

•外置或内置前端放大器

•以太网端口

•无磨损,免维护

•适用于导电材料

高分辨率多通道系列capaNCDT6530电容非接触位移传感器系统,适用于生产设备,测试设备,实验室和不同流程的质量保证等应用场合。

德国米铱高精度光谱共焦位移传感器confocalDT系列

•绝对误差≤±0.05%

•分辨率0.004%

•测量频率标准25kHz/可选70kHz(光源外置)

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